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[SEMICON KOREA] 마찰 없이 움직이는 자기부상 이송 시스템
마찰 없이 움직이는 자기부상 이송 시스템이 서울 코엑스에서 열린 '세미콘코리아 2023(SEMICON KOREA 2023)'에 전시됐다. 부스 관계자는 "자기부상으로 살짝 떠서 움직이기 때문에 마모가 발생하지 않고, 먼지를 퍼트리지 않는다"고 말했다. 작은 먼지도 품질에 영향을 끼칠 수 있는 반도체 및...
[SEMICON KOREA] LNG에서 전기로…친환경 발맞춤하는 '스크러버'
세계 산업의 중심추가 친환경으로 옮겨가는 가운데 반도체 산업 설비들도 이러한 추세에 맞게 변화하고 있다. 반도체 공정에서 발생하는 유해가스를 제거하는 '스크러버'도 마찬가지다. 업계에선 종전의 LNG를 에너지원으로 사용하는 방식이 아닌, 전기를 전력원으로 사용하는 스크러버를 시장에 내...
[SEMICON KOREA] 가스 및 유량 조절하는 ‘IGS’ 시스템
3일 서울 삼성동 코엑스(COEX)에는 세미콘 코리아 2023(SEMICON Korea 2023)이 진행 중이다. 이날 행사에 참가한 주식회사 유니락은 케미컬 공정 설비에 필요한 IGS(Integrated Gas System)을 선보였다. 케미컬 및 반도체 공정에서는 다양한 가스가 활용된다. 특히 웨이퍼 제조 시, 필요...
[SEMICON KOREA] 팹 설비 진공관 부산물 포집하는 ‘Trap'
(주)미래보가 2일 서울 삼성동 코엑스(COEX)에서 열린 세미콘 코리아 2023(SEMICON Korea 2023)에서 진공관 부산물을 잡아주는 Trap을 선보였다. 반도체 공정에서 사용되는 가스는 웨이퍼 프로세싱에 사용된 후 진공관과 스크러버를 거쳐 배기된다. 이때 부산물들이 펌프에 쌓일 경우...