[움짤뉴스] 웨이퍼 이송하고 세정하는 ‘반도체 협동로봇’

인아텍앤코포(Inatech&CORP)가 서울 삼성동 코엑스(COEX)에서 11일부터 13일까지 열린 ‘세미콘 코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)’에서 반도체 공정 자동화 솔루션을 제시했다.

이 기업은 일본 로봇 회사 JEL의 원통 좌표형 로봇과 두산로보틱스의 협동로봇을 활용해 웨이퍼 세정 및 이송 공정 시연을 구성했다.

관계자는 “반도체는 작업자가 만지면 오염되거나 파손될 위험이 높아, 로봇 자동화가 필수”라며 “여러 로봇 회사의 제품 중 클린룸에서 활용 가능하고 성능이 우수한 제품을 선별해, 고객사의 환경에 맞게 커스터마이징해 납품한다”라고 말했다.

그는 “올해 회사 비전이 ‘Performance Everywhere’로, 자사가 가진 경험과 역량을 통해 누구나 로봇 솔루션을 쉽게 사용할 수 있게 하는 것이 목표다”라며 “이번 전시회에서도 로봇의 실제 적용 사례와 솔루션을 시연을 통해 참관객에게 설명하고 있다”라고 밝혔다.

김보영 기자

cchby@industryjournal.co.kr

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