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[산업지식퀴즈] 반도체 제조공정의 자율주행 로봇은?

최적화된 레일 따라 반도체 웨이퍼 안전 운송

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웨이퍼가 완제품으로 탄생하기까지 반도체 생산라인은 수백 개의 공정이 요구됩니다. 웨이퍼가 이동할 때 충돌이 발생해 반도체가 손상되거나 오염으로 인해 품질저하가 발생할 우려가 있습니다.

이러한 문제를 해결하기 위해 반도체 생산시설에서는 공정과 공정을 연결해 웨이퍼를 자율적으로 이동시키는 로봇을 사용하고 있습니다. 중앙관제시스템의 제어를 받는 레일을 따라 이동하며 FOUP(Front Opening Unified Pod)에 웨이퍼를 싣고 운반하는데요.

반도체 제조과정에서 안전성과 효율성은 물론, 시간과 비용 절감 효과로 반도체 공정의 원활한 흐름을 돕는 자율주행 로봇은 무엇일까요?
1)AGV(Automated Guided Vehicles)
2)AMB(Autonomous Mobile Base)
3)OHT(Overhead Hoist Transport)

정답은 3번 OHT(Overhead Hoist Transport)입니다. 레일을 따라 이동하는 여러 대의 OHR기기의 충돌과 비효율을 막는 최적의 경로를 찾아야 한다는 과제가 존재하지만 체계적인 자율주행시스템 구축을 통해 생산성을 높일 수 있습니다.
박윤서 기자
yspark@industryjournal.co.kr


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