“반도체 시장에서 전자빔 기반 결함 검출장비 요구 높아져”
CFE 기술 기반 전자빔 시스템 ‘SEM비전 G10’, ‘프라임비전 10’ 발표
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“반도체는 점점 더 복잡해지고 있다. 3D 구조화, 패턴의 미세화되고 있다. 이에 따라 계측과 검사의 기술 수준도 점점 더 높아지고 있다”
이석우 어플라이드 머티어리얼즈 코리아(APPLIED MATERIALS KOREA) 이미지 및 공정제어 기술제품 총괄의 말이다. 그는 ‘전자빔(eBeam) 이미징 혁신 기술 및 신제품 발표 기자간담회’를 통해 최근 반도체 시장과 관련 시장에 대응한 신제품에 대해 발표했다.
간담회는 13일 서울 삼성동 소재 그랜드 인터컨티넨탈 서울 파르나스에서 진행했다. 행사에서 이 회사는 ‘냉전계 방출(CFE : Cold Field Emission)’ 기술 상용화와 CFE 기술에 기반한 전자빔 시스템 ‘SEM비전 G10(SEMVision® G10)’, ‘프라임비전 10(PrimeVision® 10)’ 2종을 소개했다.
이 총괄은 테크인사이트의 시장조사를 인용해 “전자빔 시장과 세그먼트를 보면, 2021년 기준으로 웨이퍼장비 중 프로세스 컨트롤 분야가 13%를 차지했다. 이 중 20%가 전자빔이 차지했다. 특히 전자빔 분야의 세그먼트를 보면 디펙트 리뷰(Defect Review)가 28%, 전자빔 검사가 (33%), CD-SEM 분야가 39%를 차지하고 있다”라고 설명했다.
또한 이 같은 통계와 지난 3년간의 추세를 볼 때 반도체 분야에서 점점 더 전자빔 검사에 대한 요구가 커지고 있음을 추측해볼 수 있다고 했다.
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