윙배너

“반도체 시장에서 전자빔 기반 결함 검출장비 요구 높아져”

CFE 기술 기반 전자빔 시스템 ‘SEM비전 G10’, ‘프라임비전 10’ 발표

“반도체 시장에서 전자빔 기반 결함 검출장비 요구 높아져” - 산업종합저널 전자
이석우 어플라이드 머티어리얼즈 코리아(APPLIED MATERIALS KOREA) 이미지 및 공정제어 기술제품 총괄이 신제품에 대해 소개하고 있다.

“반도체는 점점 더 복잡해지고 있다. 3D 구조화, 패턴의 미세화되고 있다. 이에 따라 계측과 검사의 기술 수준도 점점 더 높아지고 있다”

이석우 어플라이드 머티어리얼즈 코리아(APPLIED MATERIALS KOREA) 이미지 및 공정제어 기술제품 총괄의 말이다. 그는 ‘전자빔(eBeam) 이미징 혁신 기술 및 신제품 발표 기자간담회’를 통해 최근 반도체 시장과 관련 시장에 대응한 신제품에 대해 발표했다.

간담회는 13일 서울 삼성동 소재 그랜드 인터컨티넨탈 서울 파르나스에서 진행했다. 행사에서 이 회사는 ‘냉전계 방출(CFE : Cold Field Emission)’ 기술 상용화와 CFE 기술에 기반한 전자빔 시스템 ‘SEM비전 G10(SEMVision® G10)’, ‘프라임비전 10(PrimeVision® 10)’ 2종을 소개했다.

이 총괄은 테크인사이트의 시장조사를 인용해 “전자빔 시장과 세그먼트를 보면, 2021년 기준으로 웨이퍼장비 중 프로세스 컨트롤 분야가 13%를 차지했다. 이 중 20%가 전자빔이 차지했다. 특히 전자빔 분야의 세그먼트를 보면 디펙트 리뷰(Defect Review)가 28%, 전자빔 검사가 (33%), CD-SEM 분야가 39%를 차지하고 있다”라고 설명했다.

또한 이 같은 통계와 지난 3년간의 추세를 볼 때 반도체 분야에서 점점 더 전자빔 검사에 대한 요구가 커지고 있음을 추측해볼 수 있다고 했다.


0 / 1000


많이 본 뉴스

3D 라인 스캐너로 수입장비 대체효과 기대

에스디옵틱스(SD OPTICS)는 최근 고속 3D 라인스캐너를 국내에 정식 출시했다고 밝혔다. 이에 따르면, 신제품은 2D 라인 스캐너와 Z축 가변 초점을 구현하는 이 회사의 MALS™ 렌즈의 기능을 결합해 개발한 제품이다. 2차원 라인 스캔과 Z축 고속 스캔을 동시에 처리하면서 라인의 이미지를 플라잉

포티넷, 비정상 네트워크 행위 탐지 및 대응 솔루션 발표

비정상적인 네트워크 활동을 파악해 사이버 공격 탐지 및 위협 노출을 제한하는 솔루션이 소개됐다. 보안 분야 전문 기업 포티넷코리아는 14일 인공지능(AI) 기술과 어용분석기술(pragmatic analytics)을 통해 사고 탐지 및 위협 대응 속도를 높여주는 새로운 NDR(network detection

골퍼를 추종하는 1인용 로봇 '스마트 캐디봇'

앞으로는 골프장에서 로봇이 골퍼를 지원하는 모습을 보게 될 것으로 기대된다. 스크린 골프 전문 기업 스마트골프는 최근 자료를 통해 ‘스마트 캐디봇’을 개발 후 출시를 앞두고 있다고 밝혔다. 스마트 캐디봇은 일정한 거리를 두고 골퍼를 추종하는 1인용 로봇이다. 이 회사는 이 로봇에

중규모 모듈형 UPS(무정전 전원공급장치)

버티브(Vertiv)는 최근 트랜스포머가 필요 없는 고밀도 모듈형 UPS(Uninterruptible Power Supply, 무정전 전원공급장치) 시스템을 발표했다. 회사측은 모델별로 50kW~500kW 용량을 지원하는 신제품 Liebert APM Plus에 대해 이중 변환 모드로, 최대 97% 및 에코 모드로 최대 99%의 효율을 제공한다

버티브, 리튬이온 UPS 시스템과 실내 냉각 솔루션 출시

버티브(Vertiv)가 온라인 무정전 전원공급장치(UPS) 제품군 중 하나에 리튬이온 모델을 새롭게 추가했다. 또한 네트워크 엣지용 새로운 전원 및 냉각 솔루션을 출시했다고 17일 밝혔다. 버티브 아시아의 통합 랙 솔루션을 담당하는 앤디 리우(Andy Liu) 디렉터는 서면자료를 통해 ‘사용






산업전시회 일정


미리가보는 전시회