DAS코리아, TSUGA시스템 앞세워 친환경 반도체 공정 앞당긴다

Chat GPT(챗 지피티)로 대변되는 생성형 AI의 괄목할만한 성장과 온 디바이스 AI의 확산으로 인해 반도체의 수요는 급격하게 증가할 것으로 예상된다. 그러나. 반도체 제조 과정에서 불가피하게 발생되는 유해가스들은 최근 전세계의 화두로 부상하고 있는 ‘친환경’‧‘탄소절감’에 반하는 요소들이다. 결국 이를 어떻게 해결할 수 있는 지가 반도체 제조 및 관련 기업들의 과제로 대두되고 있다.

지난 1월 31일부터 2월 2일까지 서울 코엑스에서 개최된 세미콘 코리아(SEMICON KOREA)2024에 참가한 DAS코리아(이하 ‘DAS')는 반도체 웨이퍼 제조 과정에서 발생하는 유해가스를 분해하는 스크러버 장비를 이번 전시회에서 소개했다.

특히, 이번 전시회에서는 DAS는 반도체 제조과정에서 발생하는 질소산화물(이하 NOx)를 최대 95%까지 분해할 수 있는 장비인 ‘츠가(TSUGA) 시스템’을 선보였다.

DAS의 김현우 과장은 “반도체 제조 과정에서는 환경 유해물질인 NOx가 발생하기 마련인데, 이를 해결하기 위해 TSUGA장비가 개발됐으며, 이를 통해 NOx는 최대 95%까지 분해가 가능하며, 파티클(먼지) 파티클은 99.9%까지 제거할 수 있다”며, “DAS에서는 TSUGA를 한국의 외국계 칩메이커에 납품하기 위한 논의를 진행 중”이라고 밝혔다.

김 과장은 “기존에도 NOx를 절감하는 장비는 존재했지만, 그때까지만 해도 NOx에 대한 규제 자체가 약했고 파티클 제거도 안됐다”며, “TSUGA는 NOx와 파티클의 제거에 효과적일 뿐만 아니라 촉매의 온도가 낮은 상태에서도 작동이 가능하기 때문에 유지 관리 비용을 감소시키는 효과도 있다”고 말했다.

“전세계적으로 ESG‧탄소절감 등의 친환경 이슈가 이어짐에 따라 기존에는 이에 대해 무관심했던 고객사들도 이에 대해 신경을 쓰게 되면서 외국계 기업에서 이에 대한 필요를 빠르게 깨닫고 있다”고 밝힌 김 과장은 “국내 최대 반도체 기업에의 납품은 이어가는 동시에 TUSGA 시스템에 대한 프로모션도 함께 이어갈 계획”이라고 밝혔다.