정부, 첨단 반도체 장비(EUV) 도입 규제

정부가 반도체산업에 사용하는 고압가스에 대한 안전혁신과제를 선정했다. 전문가 검토 등을 거쳐 합리적으로 개선해 기업부담을 완화할 계획이다.

13일 산업통상자원부에 따르면, 그동안 반도체 산업을 지원하고, 반도체 제조 용도의 수입 산업가스 수급안정을 위해 ‘검사생략 고압용기의 해외 반송기한’을 6개월에서 최대 2년으로 연장하는 등 지속적으로 규제를 발굴․개선해 왔다.

이번에 선정한 11개 규제는 규제 개선시 국내 반도체산업의 글로벌 경쟁력을 한층 더 높일 수 있는 과제로, 반도체관련 단체 및 기업과의 간담회․현장방문 등을 통해 도출했다.

지난 6월부터 반도체기업 및 유관협회에 대한 의견수렴과 간담회 등을 통해 반도체 제조공정에 쓰이는 수소를 포함한 고압가스의 안전규제에 대해 다양한 개선과제를 발굴했으며, 이 가운데 안전성이 확보되면서도 기업 활동을 촉진할 수 있는 고압가스 관련 반도체 생산장비 및 저장설비 등에 대한 7개 과제를 전문가 검토 등을 거쳐 신속히 개선키로 했다.

차세대 EUV 장비의 국내도입시 걸림돌을 제거해 첨단제조설비를 선점함으로써 글로벌 경쟁력을 확보하고, 방호벽 설치기준 등을 완화하는 등 반도체 공장의 증설을 용이하도록 함으로써 반도체공장內 부지의 활용도를 제고하도록 한다는 내용이다.

차세대 EUV장비 국내도입 허용기준 개선
현행 신소재재질의 배관(슈퍼듀플렉스강)을 사용한 차세대 EUV장비가 개발완료 예정이나, 신소재 배관에 대한 고압가스법령內 사용규정이 없어 국내 도입이 불가한 상황이다. 차세대 첨단장비 선점을 위해 슈퍼듀플렉스강 등 미국기계학회(ASME)에서 인정받은 재료의 배관도 고압가스 배관사용이 가능하도록 안전성을 검토 후, 가스상세기준을 개정해 국내도입이 가능하도록 할 예정이다.

방호벽 관련 다양한 설치기준 허용
반도체공장은 바닥면이 얇은 경량화된 복층건물구조로, 깊이 묻어야 하는 기존 ①방호벽 지주의 고정방법으로는 지주설치가 곤란하고, ②방호벽도 두꺼운 콘크리트재질만 설치가능해 공장 증설에 어려움이 있다.

가스상세기준에서 구조기술사 등이 안전성을 확인한 경우에는, 케미컬앵커 등 ①다양한 지주설치방법을 허용하고, ②방호벽도 기존 방호벽의 재질과 동등한 안전수준이면 강판제 등 다양한 재질의 방호벽을 허용하도록 기준을 마련해 반도체 공장의 공간 활용을 증대시킬 예정이다.

공장내부의 용기보관(저장용 실린더캐비닛) 기준 개선
저장용 실린더캐비닛은 공장내부에 설치 시 설치장소의 지붕을 가벼운 불연재료로만 사용해야 하므로 복층으로 공장증설時 가벼운 지붕은 상층의 바닥이 돼 하중을 견디기 어려워 동 캐비닛을 공장에 설치하기 곤란하다.

전문가 검토 등을 거쳐 저장용 실린더 캐비닛에 대한 안전성을 검증 후 지붕을 가벼운 불연재료로 사용하도록 하는 의무 규정을 면제하는 기준을 마련해 반도체공장의 복층 증설을 쉽게 할 수 있도록 했다.

정부 관계자는 “이번 선정된 혁신규제과제를 신속히 추진하겠다”면서 “향후, 반도체산업 뿐만 아니라 에너지분야 안전과 관련된 타 산업에서도 안전 확보와 산업 발전의 균형을 도모하는 규제혁신과제를 지속적으로 발굴해 기업경쟁력이 강화되도록 지원해 나가겠다”라고 밝혔다.