외산 장악한 반도체·디스플레이 검사장비…국산 기술로 ‘도전장’
2D, 3D 광학계로 웨이퍼, 패키지 외관검사
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외국산 비중이 높은 반도체‧디스플레이 검사 분야에 국내 기업이 도전장을 내밀었다.
‘제 25회 반도체대전(Semiconductor Exhibition 2023, 이하 반도체대전)’에 참가한 에이앤아이가 반도체 검사‧계측 장비를 선보여 참관객의 관심을 끌었다.
장비는 반도체 공정 내부에서 비전과 센서로 웨이퍼‧패키지의 외관을 검사한다. 2D, 3D 광학계로 최대 2마이크로미터(μm, 1μm=0.001mm) 크기의 미세한 이물질이나 이상을 감지할 수 있다.
에이앤아이는 자체 기술로 검사 장비를 국산화했다. 관계자는 “반도체 장비는 대부분 외산 비중이 높고, 공정별로 국산화 진행도가 다른 상황”이라면서 “검사 분야는 국산화가 활발한 편이지만 아직도 외산 점유율이 높아 전시회에 소개했다”라고 말했다.
한편, 25일 서울 코엑스에서 개막한 반도체대전은 ‘AI와 반도체 혁신, 미래를 연결하는 힘’을 주제로 27일까지 진행한다.
기사 정정 / 반론
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