[산업VIEW]진공설비 ‘꽉’ 붙잡는 고강도 클램프

반도체 공정의 진공 설비를 단단히 고정하는 ‘고강도 클램프’가 ‘2023 한국디스플레이산업전시회(K-Display 2023, 이하 전시회)’에 나왔다.

‘진공’은 반도체 공정에서 필수다. 진공 상태를 유지하면 박막 공정의 증착물질이 웨이퍼까지 이동하는 저항을 줄이고, 불순물의 혼입을 방지할 수 있다.

진공 설비는 일반적인 클램프를 사용할 수 없다. 체결력이 약한 클램프를 사용하면 유해가스 유출 등 사고의 가능성이 있어서다.

한국자동화기술은 스테인리스강(SUS 304)으로 만든 고강도 클램프를 소개했다. 이영일 한국자동화기술 대표는 “일반적인 알루미늄 클램프보다 체결력이 10배 정도 강하고, 현재 삼성‧하이닉스의 지정 사양이다”라고 설명했다.

한편, 서울 코엑스에서 진행 중인 이번 전시회는 18일 폐막한다.

전효재 기자

storyta1@industryjournal.co.kr

목록으로

연구실서 배송망까지 밸류체인 하나로 묶었다… 'ICPI WEEK 2025'

대한민국 제조 생태계의 밑그림을 완성하는 거대한 융복합 지식 플랫폼이 막을 올렸다. 22일 고양 킨텍스에서 화려하게 개막한 ICPI WEEK 2025 행사는 제약과 바이오, 화장품 개발 출발선부터 최종 소비자에게 도달하는 물류 배송에 이르기까지 산업 전 주기를 관통하는 최첨단 솔루션을 한자리에 쏟아

공정위, 안전 비용 전가한 포스코이앤씨 등 4개사 검찰 고발 가닥

26일 공정거래위원회(공정위) 사무처가 하도급 업체에 산업안전 비용과 책임을 떠넘긴 포스코이앤씨, 케이알산업, 다산건설엔지니어링, 엔씨건설 등 4개 건설사를 검찰에 고발하기로 가닥을 잡았다. 유성욱 공정위 조사관리관은 브리핑을 통해 원사업자가 안전 비용을 전가하는 행위는 하도급 업

ASM, ‘세미콘 코리아 2026’ 참가… 미래 반도체 인재 잡는다

글로벌 반도체 장비기업 ASM이 국내 최대 반도체 전시회에서 인재 확보를 위한 적극적인 소통에 나선다. ASM은 11일부터 서울 코엑스에서 열리는 ‘세미콘 코리아 2026’에 참가해 채용 설명회와 현직 엔지니어 멘토링 등 다양한 인재 양성 프로그램을 운영한다고 10일 밝혔다. 부스 2층 통

[산업View] AI 농업로봇·자율주행 농기계 총집결… '2025 익산농업기계박람회' 4일 개막

AI(인공지능) 기반 농업 로봇과 자율주행 농기계 등 미래 농업 기술을 한자리에서 조망하는 '2025 익산농업기계박람회'가 4일 전북특별자치도 익산시 농수산물도매시장 일원에서 막을 올렸다. 7일까지 나흘간(7일은 오후 3시까지) 열리는 박람회는 농업인과 생산업체가 교류하며 미래 농업의 비

쿠팡물류센터, 폭염 대책 두고 8월 대규모 파업 예고

전국물류센터지부 쿠팡물류센터지회가 다음달 1일과 15일 대규모 파업을 예정한 가운데, 여름철 물류센터 내 폭염에 대한 실질적 대책 부재와 현장 작업환경 개선 요구가 거세지고 있다. 최근 정부가 내놓은 폭염 보호 대책에도 불구하고, 노동자들은 “현장 체감 변화가 없다”며 강경 대응을 선

[산업VIEW]진공설비 ‘꽉’ 붙잡는 고강도 클램프

관련뉴스

많이 본 뉴스

연구실서 배송망까지 밸류체인 하나로 묶었다… 'ICPI WEEK 2025'

공정위, 안전 비용 전가한 포스코이앤씨 등 4개사 검찰 고발 가닥

ASM, ‘세미콘 코리아 2026’ 참가… 미래 반도체 인재 잡는다

[산업View] AI 농업로봇·자율주행 농기계 총집결… '2025 익산농업기계박람회' 4일 개막

쿠팡물류센터, 폭염 대책 두고 8월 대규모 파업 예고

산업전시회 일정

미리가보는 전시회