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[산업VIEW]진공설비 ‘꽉’ 붙잡는 고강도 클램프

스테인리스강 사용해 체결력 높여…진공 상태 필수인 반도체 공정 활용

[산업VIEW]진공설비 ‘꽉’ 붙잡는 고강도 클램프 - 산업종합저널 부품

[산업VIEW]진공설비 ‘꽉’ 붙잡는 고강도 클램프 - 산업종합저널 부품

반도체 공정의 진공 설비를 단단히 고정하는 ‘고강도 클램프’가 ‘2023 한국디스플레이산업전시회(K-Display 2023, 이하 전시회)’에 나왔다.

‘진공’은 반도체 공정에서 필수다. 진공 상태를 유지하면 박막 공정의 증착물질이 웨이퍼까지 이동하는 저항을 줄이고, 불순물의 혼입을 방지할 수 있다.

진공 설비는 일반적인 클램프를 사용할 수 없다. 체결력이 약한 클램프를 사용하면 유해가스 유출 등 사고의 가능성이 있어서다.

한국자동화기술은 스테인리스강(SUS 304)으로 만든 고강도 클램프를 소개했다. 이영일 한국자동화기술 대표는 “일반적인 알루미늄 클램프보다 체결력이 10배 정도 강하고, 현재 삼성‧하이닉스의 지정 사양이다”라고 설명했다.

한편, 서울 코엑스에서 진행 중인 이번 전시회는 18일 폐막한다.


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