EV Group, 세미콘 코리아 2025서 HBM·3D DRAM 위한 혁신 TB/DB 솔루션 집중 조명
IR LayerRelease™ 기술로 초박형 칩 적층 미래 수요에 대응
)
){kind=link}
){kind=link}
){kind=link}
EV Group은 19일부터 21일까지 서울 코엑스에서 열린 ‘세미콘 코리아 2025’에서 HBM 및 3D DRAM 제조 공정을 위한 템포러리 본딩 및 디본딩(TB/DB) 솔루션을 소개했다. 전시에서는 IR LayerRelease™ 기술을 포함한 웨이퍼 본딩 및 리소그래피 기술을 선보이며, 차세대 반도체 적층 공정에 필요한 기술을 강조했다.
EV Group은 웨이퍼 본딩 기술 분야에서 글로벌 반도체 기업들과 협력하며 HBM과 3D DRAM의 개발 및 양산을 지원하는 다양한 솔루션을 제공하고 있다.
세미콘 코리아 2025에서는 TB/DB 기술이 고성능 컴퓨팅(HPC)과 인공지능(AI) 가속기용 반도체 생산에 미치는 영향을 설명하며, 향후 시장 수요에 대응하기 위한 새로운 공정을 소개했다.
EV Group 아태지역 세일즈 디렉터인 토르스텐 마티아스 박사는 “HBM과 3D DRAM의 개발과 생산을 가속화하는 것은 한국 반도체 업계의 핵심 과제이며, 이를 위해 TB/DB 기술 혁신이 필수적이다”라고 밝혔다. 이어 “IR LayerRelease™ 기술을 적용하면 초박형 다이를 구현해 HBM 적층을 더욱 효율적으로 진행할 수 있으며, 기존 기계적 디본딩 공정을 대체할 수 있다”고 설명했다.
IR LayerRelease™ 기술은 실리콘을 투과하는 적외선(IR) 레이저를 활용해 특수 무기질 레이어와 결합하면 초박형 필름이나 레이어를 나노미터 단위 정밀도로 분리할 수 있다.
업체 관계자는 "기존 글라스 캐리어 사용이 불필요해지고, 3D IC 애플리케이션을 위한 새로운 공정이 가능해진다"면서 "기존의 유기 용매 대신 무기 용매를 사용해 반도체 제조 공정에서 환경적 영향을 최소화할 수 있다"라고 설명했다.
기사 정정 / 반론
저작권자(c)산업종합저널. 무단전재-재배포금지
관련뉴스
많이 본 뉴스
“자동화는 기술 아닌 생존”…씨이케이 김진영 이사, ‘시스템 혁명’을 말하다
기계가 알아서 움직이는 세상은 더 이상 공상과학 속 이야기가 아니다. 제조업의 현장에서 자동화는 이미 상식이 됐다. 그러나 ‘기계가 움직인다’는 사실만으로 혁신이라 부를 수 있을까. 문제는 그 움직임이 얼마나 유기적이며, 얼마나 완결된 시스템으로 작동하느냐에 있다. 여전히 많은 중소
한국이구스, 반도체 클린룸 소음·분진 잡는 신기술 ‘시연’
산업용 모션 플라스틱 전문기업 한국이구스가 반도체 클린룸 환경에 최적화된 정밀 구동 솔루션을 내놨다. 한국이구스는 11일부터 13일까지 서울 코엑스에서 열리는 ‘세미콘 코리아(SEMICON Korea) 2026’에 참가해 신제품 ‘CFSPEED’를 포함한 핵심 라인업을 전시한다고 12일 밝혔다. 'CFS
[산업VIEW] 한국탄소나노복합재연구조합, 설립 후 첫 정기총회 개최
한국탄소산업계의 질적 향상을 이끌어갈 것으로 기대되는 ‘한국탄소나노복합재연구조합(CANCRA, 이하 조합)’이 창립 첫 정기총회를 개최했다. 지난해 9월 첫 창립총회를 개최한 조합은 올해 1월 법인등기를 완료한 데 이어 19일 서울 양재동 엘타워 스포타임에서 열린 정기총회를 통해 본격적인
SAP, 플라이휠(Flywheel)개념 앞세워 기업 효율 고도화한다
기업용 애플리케이션과 비즈니스 AI 관련 글로벌 기업인 SAP의 한국 지사인 SAP코리아(이하 SAP)가 최근 창립 30주년을 맞이한 가운데, 최근 매체들과 만난 자리에서 자사의 기술력에 대해 소개하고 향후 지향점을 밝혔다. SAP 고객 자문부문의 하경남 부문장은 최근 여의도에서 열린 SAP코리아 창
"기계 안전, 규격 아는 것과 현장 구현은 별개"… 필츠, '실습형' 교육센터 공개
"안전 규격을 알고 있다는 것과 이를 현장에서 구현하는 것은 별개의 문제입니다." 필츠코리아(Pilz Korea) 조민상 이사가 지난 6일 수원컨벤션센터에서 열린 'Pilz Safety Seminar Central 2025'에서 현장 실무 기반의 전문 교육 중요성을 강조했다. 필츠코리아는 이날 국제 자격 인증 교육과 실습형