2019년 일본이 화이트리스트에서 한국을 배제, 불화수소 등 반도체 공정에 필요한 화학물질 수출을 규제하면서 많은 국내 반도체 기업이 피해를 입었다.

이에 정부는 핵심 품목의 국산화를 강하게 추진했고, 대기업을 중심으로 케미컬 플랜트 설비를 증설하는 추세다.

최근 서울 삼성동 코엑스(COEX)에서 열린 2022 세미콘 코리아(SEMICON KOREA 2022)에는 다양한 케미컬(Chemical) 관련 기업이 참가해 반도체 공정에 필요한 화학설비 및 제품 등을 선보였다.

CCSS부터 자동화 시스템까지, 화학물질 공정 관리 노력


케미컬 종합 설비 시스템 기술을 제공하는 (주)한양이엔지는 이번 전시회에서 화학물질 중앙공급장치(CCSS, Central Chemical Supply System)에 대해 소개했다.

한양이엔지가 1990년 국산화에 성공한 화학물질 중앙공급장치는 초정밀 화학물질의 공급, 이송, 혼합, 폐기 등의 전 과정을 통합 관리하는 장비로, 첨단 전자산업과 신재생에너지 사업 분야에서 광범위하게 사용한다.

한양이엔지 김가희 과장은 “독자적인 품질관리 시스템 HQMS(Hanyang Quality Management System)를 구축해 국내외 품질기준보다 엄격하게 제품을 생산하고 있다”며 “최근엔 스마트 팩토리 구축 추세에 따라 자동화 시스템 개발에 주력 중”이라고 밝혔다.

화학제품이 적재된 드럼을 로봇 암(Robot Arm)을 활용해 개폐하는 등 위험한 화학제품을 사람이 직접 운반하거나 체결하는 일이 없도록 하기 위해서라는 것이 김가희 과장의 설명이다.

그는 “현재에 안주하지 않고 지속적인 개발을 통해 토털 솔루션 공급회사로써 발전해 나갈 것”이라고 강조했다.

친환경 원재료 사용한 케미컬 제품 생산


(주)엠티아이(MTI)는 반도체 후공정에 적용하는 세정용 화학제품인 포토레지스트 스트리퍼(Photo Resist Stripper)를 자체개발 했다.

포토레지스트(이하 PR)는 미세한 회로를 형성하는 리소그래피(Lithograpy)의 핵심재료로써, 웨이퍼(Wafer)에 빛을 전사시켜 미세 회로 패턴을 형성시키는 노광공정용 감광제다.

엠티아이의 한종훈 대리는 “PR공정을 완료한 이후에 반도체에 도포된 감광제를 제거하려면, 또 다른 화학제품을 활용해야 한다”며 “이를 위해 자체적으로 연구 개발한 제품이 PR용 스트리퍼”라고 설명했다.

엠티아이는 현재 수요 기업의 요청에 맞는 케미컬 제품을 제조하기 위해 자체적인 배합 레시피를 통해 제품을 생산하고 있다.

한 대리는 “엠티아이는 친환경 기업으로 나아가기 위해 폐수 처리 시 문제가 되지 않는 원재료를 사용하고 있다”며 “앞으로도 케미컬 시장에서 혁신적인 기업이 될 수 있도록 확고한 비전을 제시할 것”이라고 강조했다.