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램리서치, 반도체 업계 최초 협동 로봇 ‘덱스트로(Dextro™)’ 도입

유지 보수 자동화로 가동시간 증가 및 수율 개선

램리서치, 반도체 업계 최초 협동 로봇 ‘덱스트로(Dextro™)’ 도입 - 산업종합저널 로봇

지난 11일 반도체 장비 제조업체 램리서치가 반도체 업계 최초로 유지 보수 작업의 자동화를 목표로 한 협동 로봇 ‘덱스트로(Dextro™)’를 발표했다. 덱스트로는 정밀한 유지 보수를 통해 장비 다운타임을 줄이고 생산 안정성을 높이는 솔루션이다.

덱스트로는 서브미크론 수준의 정밀도가 요구되는 작업을 수행하며, 기존 수동 방식 대비 오류를 줄이고 효율성을 고도화 했다. 현재 램리서치의 Flex® G 및 H 시리즈 유전체 식각 장비를 지원하고 있으며, 향후 적용 장비를 확대할 예정이다.

덱스트로는 세 가지 주요 기능을 통해 반도체 제조 공정의 효율성을 높인다. 우선, 소모성 부품의 설치와 압축 작업에서 공정 안정성을 유지하고 식각 품질을 개선했다. 다음으로, 진공 밀봉 볼트를 조이는 작업에서 반복적 오류를 최소화하며 챔버 온도 편차를 줄였다. 마지막으로, 자동화 및 세척 기술을 통해 하부 챔버를 분해하지 않고도 내부 폴리머를 안전하게 제거, 작업자의 안전성을 강화했다.

김영주 삼성전자 메모리 에치기술팀장은 “덱스트로는 유지 보수 작업의 오류를 줄이고 공정 안정성 및 수율 개선에 기여한다”고 평가했다. 박준홍 램리서치코리아 총괄 대표는 “덱스트로는 사람과 로봇의 협업을 통해 생산성을 극대화하는 혁신적 솔루션”이라고 강조했다.

밥 오도넬 테크널리시스 리서치 사장은 “덱스트로는 복잡한 유지 보수 작업을 자동화해 칩 제조 장비의 다운타임을 최소화하고 제조 효율성을 높인다”며 자동화 기술이 제조 공정에서 필수적인 역할을 한다고 설명했다.


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